精测电子(300567)答投资者问
董秘您好，请问子公司北京精测半导体研发的准分子激光器，是否采用 Ar （氩） 和 F（氟气） 混合气体放电方案产生 193nm 深紫外激光？
您好！北京精测半导体目前研发的准分子激光器未采用该技术路线。感谢您对公司的关注，谢谢！
来源：互动易 答复时间：2025/11/27 17:23:08
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