晶盛机电(300316)答投资者问
董秘好，”北方华创在互动平台表示，公司8英寸电阻式SiC长晶炉已批量出货客户端。公司在SiC领域可以提供包括晶体生长、外延、刻蚀、薄膜沉积、氧化、退火、湿法、离子注入等工艺设备的全面解决方案。“请问此设备是由贵公司供货北方华创吗？
尊敬的投资者，您好。在碳化硅产业链装备领域，公司开发了碳化硅长晶及加工设备（研磨、切割、减薄、倒角、抛光、清洗及检测），并基于产业链核心设备的国产化突破，在外延、检测、离子注入、激活、氧化、减薄、退火等工艺环节积极布局产品体系。公司碳化硅设备客户包括瀚天天成、东莞天域、芯联集成、士兰微等行业头部企业。感谢您对公司的关注。
来源：互动易 答复时间：2025/7/9 15:30:52
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