万业企业系列跟踪报告之七：大基金二期入股参股子公司，增资近4亿布局半导体设备零部件行业

事件：2022 年3 月30 日，公司发布公告：国家大基金二期和上海装备材料基金拟向公司参股子公司浙江镨芯进行增资，合计人民币39,000 万元。公司同意本次增资事项，本次增资完成后，公司持有浙江镨芯的股权比例为29.63%，是浙江镨芯第一大股东。

点评： 大基金首次入股半导体设备零部件企业，凸显半导体设备零部件国产化的重要性。国家大基金前期以投资设计、制造、封测、材料以及设备等为主，首次大手笔布局半导体设备零部件公司，凸显半导体设备零部件国产化的重要性，通过将资金针对性地投入到国产替代的薄弱领域，以打造自主化的本土半导体产业链生态圈，降低中美贸易摩擦带来的断供风险。目前本土半导体设备零部件企业的技术能力、工艺水平、产品精度和可靠性与国外差距较大，整体国产化率仅为10%-30%，尤其在Compart 相关的流量控制领域之前的国产化率几乎为零，除半导体设备外，半导体设备核心零部件也是未来国产化的重点领域之一。

Compart 是全球领先的半导体设备零部件供应商，公司是其第一大股东。此次增资完成后，公司持有浙江镨芯的股权比例为29.63%，是浙江镨芯第一大股东。浙江镨芯直接持有镨芯控股73.11%股权，镨芯控股直接持有Compart 公司100%股权， 公司间接成为Compart 的第一大股东。Compart 是集成电路设备所需的气体输送系统领域供应商之一，其主要产品包括BTP（Built To Print）组件、装配件、密封件、气棒总成、气体流量控制器（MFC）、焊接件等，产品用于集成电路制造工艺中氧化/扩散、蚀刻和沉积等设备所需的精确气体输送系统，是集成电路行业高端MFC 组件的领先者，是全球少数可完成该领域零组件精密加工全部环节的公司。自公司收购完成后，Compart 由一家外资企业转变为中资控股企业，相关产品已经打入国内半导体设备公司的供应链，营收增速持续向上。据公司统计，浙江镨芯2021 年实现营业收入约9.2 亿元，净利润约1.38 亿元。与此同时，公司顺势抓住当前半导体设备景气度高涨的外部因素，于2021 年6 月签约海宁启动Compart 制造中心项目，总投资约30 亿元，预计项目落成后将有效填补本土相关产业链的空白，同时也将加速推进我国半导体核心零部件的国产化进程。

自主研发与外延并购助力公司转型集成电路核心装备平台型公司。近年以来，公司通过“外延并购，内延生长”的方式积极从房地产业务转型集成电路核心装备业务。在原有核心产品离子注入机的基础上，公司积极布局刻蚀机、快速热处理/褪火、薄膜沉积、单片清洗机、槽式清洗机、尾气处理、机械手臂等多款前道设备，辅以零部件龙头Compart 服务于全球顶尖半导体设备公司的成熟经验，形成了“1+N”半导体设备平台型公司的雏形。另外，公司作为上海半导体装备材料基金投资的主要LP 投资了华卓精科、上海精测、长川科技、上海御渡等，覆盖了光刻机核心零部件-双工件台、半导体前道检测设备、后道测试机等核心设备，公司集成电路核心装备领域的布局日趋多元化平台化，完善了集成电路装备产业工艺链，进一步实现上下游产业协同效应，致力于打造成为国内未来前道核心设备品类最为丰富的平台之一。

盈利预测、估值与评级：公司已经形成了“1+N”半导体设备平台型公司的雏形， 子公司凯世通离子注入机获得大额订单，有望持续放量，另外其设立嘉芯半导体从事新设备的开发以及并购Compart 完成设备核心零部件的布局，维持公司2021-2022 年的归母净利润分别为3.84 亿元和5.22 亿元，看好嘉芯半导体和Compart 给公司带来的业绩增量，上调2023 年的归母净利润为5.90 亿元（上调7.08%），当前市值对应的PE 分别为53x、39x、35x，维持“买入”评级。

风险提示：客户导入及验证不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。