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国林科技：臭氧浓度和臭氧流量不同其余无区别

来源：同花顺iNews

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2025-08-15 15:57:03

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（原标题：国林科技：臭氧浓度和臭氧流量不同其余无区别）

同花顺（300033）金融研究中心08月15日讯，有投资者向国林科技（300786）提问， EUV（极紫外光）掩膜版清洗和euv光刻胶清洗都已经开始采用先进的臭氧水清洗方式，以替代传统的rca清洗。请问euv掩膜板清洗和euv光刻胶清洗从技术原理上，对臭氧水设备的性能要求有何不同？需要达到怎样的性能？

公司回答表示，尊敬的投资者，您好。臭氧浓度和臭氧流量不同，其余无区别。感谢您的关注。

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