(原标题:中微公司:目前中微公司在先进封装领域(包含高宽带存储器HBM工艺)全面布局,包含刻蚀、CVD、PVD、晶圆量检测设备等,且已经发布CCP刻蚀及TSV深硅通孔设备)
同花顺(300033)金融研究中心06月09日讯,有投资者向中微公司提问, 你好,贵司TSV 蚀刻设备是否可以应用于 HBM 高带宽存储芯片制造过程?
公司回答表示,您好,目前中微公司在先进封装领域(包含高宽带存储器HBM工艺)全面布局,包含刻蚀、CVD、PVD、晶圆量检测设备等,且已经发布CCP刻蚀及TSV深硅通孔设备。谢谢您的关注。
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