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国林科技：子公司国林半导体目前主营业务产品包括：臭氧气体发生器、臭氧气体输送设备、半导体级高浓度臭氧水系统、臭氧水溶浓度检测仪、臭氧尾气分解器等

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2025-05-06 15:03:07

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（原标题：国林科技：子公司国林半导体目前主营业务产品包括：臭氧气体发生器、臭氧气体输送设备、半导体级高浓度臭氧水系统、臭氧水溶浓度检测仪、臭氧尾气分解器等）

同花顺（300033）金融研究中心05月06日讯，有投资者向国林科技（300786）提问，公司半导体设备在原子层刻蚀（ALE）和原子层沉积（ALD）领域的产品有哪些？

公司回答表示，尊敬的投资者，您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。子公司国林半导体目前主营业务产品包括：臭氧气体发生器、臭氧气体输送设备、半导体级高浓度臭氧水系统、臭氧水溶浓度检测仪、臭氧尾气分解器等，可应用于半导体、光伏、电子光电等微观制程领域，目前占公司营业收入比重较小。感谢您的关注。

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