微导纳米去年实现净利润2.27亿元 半导体设备收入大幅增长

（原标题：微导纳米去年实现净利润2.27亿元 半导体设备收入大幅增长）

微导纳米(688147)25日晚间披露的2024年年度报告显示，报告期内，公司实现营业收入约27亿元，同比增长60.74%；归属于上市公司股东的净利润为2.27亿元，扣除非经常性损益后的净利润为1.87亿元。

微导纳米表示，作为国内半导体薄膜沉积设备领域的技术引领者之一，报告期内，公司抓住下游产业链核心客户产能扩张和技术创新的机遇，持续加大研发投入和市场拓展力度，取得显著成效。公司ALD设备在高介电常数材料、金属化合物薄膜等领域均实现了产业化应用并取得批量重复订单，已涵盖了行业所需主流ALD薄膜材料及工艺。CVD设备在硬掩膜等关键工艺领域实现产业化突破，成功进入存储芯片领域先进器件产线并完成批量验收，成为公司又一重要量产产品。

具体来看，2024年度，公司半导体设备收入为3.27亿元，同比增长168.44%；光伏设备收入为22.9亿元，同比增长52.94%。半导体设备收入占主营业务比重由2023年度的7.27%提升至12.14%，呈逐年上升的趋势。

截至2024年年末，公司在手订单总额67.72亿元，其中光伏领域、半导体领域和新兴应用领域在手订单分别为51.88亿元、15.05亿元和0.79亿元。半导体领域在手订单同比大幅度增长65.91%，占订单总量的比重呈逐年上升趋势。微导纳米表示，预计随着公司战略布局的逐步落地，公司半导体领域产品的工艺覆盖面、客户数量和订单规模将继续保持增长。

值得一提的是，报告期内，公司坚持自主创新，持续加大研发投入，加快半导体设备的产品布局，迭代发展新一代光伏电池技术路线。2022年-2024年，公司研发投入分别为1.38亿元、3.08亿元和4.19亿元，最近三年累计研发投入近8.66亿元，多年来保持高比例研发投入，其中超过60%投入半导体领域。公司半导体领域研发重点包括逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等项目；光伏领域研发重点包括TOPCon、XBC、钙钛矿/钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术等项目。

除在半导体和光伏领域外，公司还持续在新兴领域进行前沿化开发，为公司未来发展创造更多收入增长极。目前，公司已在光学、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的高端薄膜沉积技术应用领域进行产业化验证。

对于未来的经营，微导纳米表示，公司将持续增加研发投入，密切追踪最新的技术及发展趋势，持续开展对新技术的研究，加快产品创新。同时，将根据发展战略完善产品矩阵和产品线，并重点建设ALD、CVD技术高端装备产业化研发中心。依靠公司核心技术加大研发力度，开发系列化高端集成电路制造所需的ALD、CVD设备产品。与国内外顶尖半导体及泛半导体制造商加深合作，大力开发量产化工艺技术，实现专有工艺配合专用设备的配套，提升产品技术壁垒，增强产品在国际市场的竞争力。公司还将大力开发新能源领域产业化应用技术和专用产业化装备，积累前沿技术产业化应用的知识产权，布局前瞻性技术领域关键产业化技术以及整体解决方案。