(原标题:中石科技:目前公司尚未开发用于精密机械结构的主动温控材料)
同花顺(300033)金融研究中心03月11日讯,有投资者向中石科技(300684)提问, 光刻机工件台的纳米级运动精度对热变形极其敏感,公司是否开发过用于精密机械结构的主动温控材料(如动态导热补偿膜)?与海外竞品(如德国汉高)的技术差距体现在哪些参数(如导热速率波动率)?
公司回答表示,尊敬的投资者您好,目前公司尚未开发用于精密机械结构的主动温控材料,感谢您的关注!
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