(原标题:广立微:能增加光掩膜版的利用效率方案具体是指利用公司的IP及核心技术,可以在相同掩模面积中放置更多测试结构,换言之,同样数量的测试结构占用的掩模面积更小)
同花顺(300033)金融研究中心09月26日讯,有投资者向广立微(301095)提问, 公司半年报提到能增加光掩膜版的利用效率,该技术是否可用于四种曝光,公司是否和海思在多重曝光方面有合作
公司回答表示,尊敬的投资者您好,该方案具体是指利用公司的IP及核心技术,可以在相同掩模面积中放置更多测试结构,换言之,同样数量的测试结构占用的掩模面积更小,该技术与测试芯片版图设计及集成电路良率提升技术相关,与光刻过程中的曝光模式无直接关联。感谢您的关注!
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