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莱伯泰科：计划与头部晶圆企业合作将质谱仪辐射至半导体上下游单位助力我国半导体产业发展

来源：证券时报网

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2024-07-18 10:47:04

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（原标题：莱伯泰科：计划与头部晶圆企业合作将质谱仪辐射至半导体上下游单位助力我国半导体产业发展）

证券时报e公司讯，莱伯泰科今日官微消息，随着我国半导体产业快速发展，质谱仪作为芯片制造过程中的关键检测设备，其国产替代意义重大。目前，莱伯泰科与国内头部晶圆企业建立了合作关系，计划将LabMS 5000电感耦合等离子体串联四极杆质谱仪辐射到半导体上下游产业单位。莱伯泰科质谱研发部产品经理王娟表示，团队将针对行业特点开发湿电子化学品、实时在线晶圆中超痕量元素等分析方法，为半导体制程中的质量控制提供技术支撑，助力半导体行业发展。

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