(原标题:鼎龙股份抛光垫开始供货)
鼎龙股份的抛光垫正式启动供货。公司今天披露,近日,鼎汇微电子的一款抛光垫产品通过客户的验证,鼎汇微电子进入客户供应商体系。鼎汇微电子是鼎龙股份的全资子公司,负责具体实施公司的CMP抛光垫项目。
抛光垫是晶圆制造环节的关键材料,是CMP工艺的核心,属于核心制程耗材。由于技术壁垒的原因,抛光垫市场集中度很高,我国CMP抛光垫市场长期被外资企业垄断。据券商研报,在CMP抛光垫市场上,陶氏化学市占率最高,接近80%。我国企业在CMP领域的市场份额一直非常少。
从立项开始算起,鼎龙股份的抛光垫项目已经历了5年多时间。2015年3月,在前期研发取得阶段性成果的基础上,鼎龙股份投资1亿元进行产业化,完成了厂房建设、设备安装调试。2016年8月,完成工程化建设进入产品试生产阶段,同步全面启动公司国内CMP抛光垫客户的送样及验证、评价工作,并投资建设测试评价实验室,于今年4月投入使用。
一位接受记者采访的券商研究员表示,鼎龙股份CMP抛光垫的出现,实现了我国自主研发生产半导体材料技术的突破,使得我国在高尖端的半导体材料CMP抛光垫领域占有了一席之地,不再在关键半导体芯片制造环节受制于人。对国际和国内众多半导体芯片制造企业来说,也有了更多的选择和议价空间。 (上海证券报)
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