（原标题：北方华创12英寸立式氧化炉Move In 长江存储）
2017年11月30日，北方华创下属子公司北方华创微电子自主研发的12英寸立式氧化炉THEORISO302MoveIn长江存储生产线，应用于3DNANDFlash制程，扩展了国产立式氧化炉的应用领域。
THEORISO302立式氧化炉具有先进的颗粒控制技术、高精度温度场控制技术、先进的微环境氧含量控制技术、后期维护费用低等特点，具备12英寸晶圆干氧氧化、湿氧氧化、DCE氧化等工艺能力，主要应用于LOGIC、DRAM、NAND等产品工艺制程，成为客户的POR(ProcessofRecord)机台(扩产优先采购机台)。
THEORISO302立式氧化炉是北方华创微电子的一款成熟产品，已批量应用于中芯国际、上海华力芯片生产线，本次THEORISO302立式氧化炉设备Movein长江存储生产线，表明北方华创微电子集成电路立式氧化炉产品获得了市场广泛认可，为国产集成电路装备商业化应用踏出了又一个坚实的步伐。
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