微导纳米获得发明专利授权：“沉积成膜的异常检测方法、沉积成膜方法及沉积成膜系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“沉积成膜的异常检测方法、沉积成膜方法及沉积成膜系统”，专利申请号为CN202410869187.2，授权日为2026年11月10日。

专利摘要：本发明公开沉积成膜的异常检测方法、沉积成膜方法及沉积成膜系统，其中，异常检测方法在沉积成膜步骤之前实施，包括：向反应腔通入检测气体，检测气体被配置为能够被电离形成检测等离子体，检测等离子体被配置为不与基片以及载具发生反应；控制启动射频电源；获取射频电源的特征信息,射频电源与载具电连接形成供电电路；判断特征信息是否存在异常,特征信息包括供电电路的电信号信息；在特征信息存在异常时，输出异常报警信息，并结束检测。上述异常检测方法在沉积成膜步骤之前执行，一旦确认存在异常，不再执行沉积成膜步骤，可较好地规避沉积成膜步骤执行过程中被意外中断所造成的大量返工等问题，基本不会对后续沉积成膜步骤带来不利影响。

今年以来微导纳米新获得专利授权74个，较去年同期增加了19.35%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.37亿元，同比增3.53%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目61次；财产线索方面有商标信息141条，专利信息725条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：企查查

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