证券之星消息,根据企查查数据显示盛美上海(688082)新获得一项发明专利授权,专利名为“电镀装置及方法”,专利申请号为CN202011348069.5,授权日为2026年11月10日。
专利摘要:本发明揭示了一种电镀装置,包括多个电极,所述的多个电极包括主电极和至少两个第二电极,各电极在晶圆表面对应区域形成电场,各第二电极与主电极之间分别可选择的独立控制或共同控制,所述的电极分别带有控制接口,通过选择各第二电极与主电极之间的控制关系的组合方式,实现对不同尺寸或不同缺口形状的晶圆进行电镀。本发明提出的电镀装置能对不同尺寸或不同缺口形状的晶圆进行电镀,而不需要更换整个电镀腔。
今年以来盛美上海新获得专利授权39个,较去年同期增加了77.27%。结合公司2026年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4.66亿元,同比增11.94%。
通过天眼查大数据分析,盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目189次;财产线索方面有商标信息84条,专利信息776条,著作权信息1条;此外企业还拥有行政许可34个。
数据来源:企查查
以上内容为证券之星据公开信息整理,不构成投资建议。
