中微公司获得发明专利授权：“半导体零部件的清洁装置及其清洁方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导体零部件的清洁装置及其清洁方法”，专利申请号为CN202211604287.X，授权日为2026年11月10日。

专利摘要：一种半导体零部件的清洁装置及其清洁方法，半导体零部件包括相对的第一表面和第二表面，半导体零部件具有贯穿第一表面和第二表面的通孔，清洁装置包括：混合腔，其包括出口，半导体零部件与混合腔连接使出口与通孔对应；液体源，通过液体输送管道向混合腔内输送液体；压缩气体源，通过压缩气体通道向混合腔内输送压缩气体；脉冲控压器，用于控制进入混合腔内压缩气体的压力升降，使压缩气体与液体混合形成脉冲射流束，脉冲射流束自出口进入通孔对通孔内进行清洁处理。所述清洁装置能够对半导体零部件进行清洁，对通孔内侧壁的基材的损伤较小。

今年以来中微公司新获得专利授权145个，较去年同期增加了4.32%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目95次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1775条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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