中微公司获得发明专利授权：“一种化学气相沉积装置的温度校准和控制方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化学气相沉积装置的温度校准和控制方法”，专利申请号为CN202111262182.6，授权日为2026年11月10日。

专利摘要：本发明公开了一种化学气相沉积装置的温度校准和控制方法，该装置包括：晶圆承载台，测量晶圆承载台温度的第一温度传感器，用于加热该装置的加热器；校准方法包含：将一设置有标准接触式温度传感器的仿晶圆放在晶圆承载台上；启动加热器使该装置温度升高；将标准接触式温度传感器读数随时间的变化记录为标准温度变化值；将第一温度传感器读数随时间的变化记录为晶圆承载台温度变化值；将晶圆承载台温度变化值按时间对应校正为标准温度变化值。其优点是：通过标准接触式温度传感器、仿晶圆和第一温度传感器，获取晶圆在工艺过程中的温度变化数据，并对第一温度传感器进行校准，提高了第一温度传感器温度测量的准确度，保证了晶圆生产的良品率。

今年以来中微公司新获得专利授权145个，较去年同期增加了4.32%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目95次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1775条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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