中微公司获得实用新型专利授权：“一种成膜设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种成膜设备”，专利申请号为CN202522647547.7，授权日为2026年11月10日。

专利摘要：本实用新型公开了一种成膜设备，包括：腔体；依次环设在腔体的内部的隔热组件、侧加热器和内衬筒；测温通道，贯穿腔体、隔热组件和侧加热器，且与内衬筒上的测温点正对设置；测温点位于内衬筒上的指定区域内，指定区域是指在竖直方向的高度h与内衬筒的轴向长度H之比为1/4≤h/H≤3/4的区域；红外测温组件，设置在腔体的外部，且与测温通道连通，以对测温点直接测温。本实用新型实现了对内衬筒的直接、非接触、快速、精确测温。

今年以来中微公司新获得专利授权145个，较去年同期增加了4.32%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目95次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1775条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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