证券之星消息，9月22日，半导体设备ETF国泰基金（159516）跌1.38%，成交额35.85亿元。当日份额减少了6000万份，最新份额为614.99亿份，近20个交易日份额增加7.77亿份。当日资金净流出6.46亿元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为439.17亿元。半导体设备ETF国泰基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立（2023-07-19）以来超额回报为8.32%，近一个月超额回报为0.03%，管理人为国泰基金公司，基金经理为艾小军。
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