证券之星消息，8月21日，科创半导体设备ETF鹏华基金（589020）跌0.81%，成交额8.27亿元。当日份额增加了2400万份，最新份额为44.84亿份，近20个交易日份额增加25.38亿份。当日资金净流出343.2万元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为55.26亿元。科创半导体设备ETF鹏华基金跟踪标的为上证科创板半导体材料设备主题指数，成立（2025-08-27）以来超额回报为-3.59%，近一个月超额回报为0.24%，管理人为鹏华基金公司，基金经理为林嵩。
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