拓荆科技获得发明专利授权：“一种晶圆保温装置和一种晶圆保温方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆保温装置和一种晶圆保温方法”，专利申请号为CN202211582282.1，授权日为2026年8月7日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆保温装置和晶圆保温方法。该晶圆保温装置设置于半导体加工设备的反应腔内，其特征在于，包括：一片式阻隔环和设置于其下方的升降机构，所述晶圆保温装置处于晶圆工艺模式时，所述一片式阻隔环经由所述升降机构上升至抵住所述反应腔，以将所述反应腔内的晶圆与外部的所述传片通道阻隔。本发明不仅能够较好地隔离反应腔与传片通道，均匀反应腔内的温度，而且还能够避免分块式的阻隔件之间接触摩擦产生的颗粒落入晶圆上的薄膜，提升薄膜的均匀性。

今年以来拓荆科技新获得专利授权19个，较去年同期减少了42.42%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了7.7亿元，同比增1.8%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目108次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息731条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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