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西安奕材获得发明专利授权:“晶圆翻转装置及方法、晶圆加工设备”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示西安奕材(688783)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆翻转装置及方法、晶圆加工设备”,专利申请号为CN202411836355.4,授权日为2026年7月10日。

专利摘要:本公开提供一种晶圆翻转装置及方法、晶圆加工设备,该晶圆翻转装置包括:支撑单元;夹持单元,包括两个夹持组件,两个夹持组件沿第一方向彼此间隔地设置于支撑单元上;移动单元,连接至夹持单元,移动单元驱使两个夹持组件沿第一方向可相向或相背运动;翻转单元,与夹持单元连接,翻转单元可驱动夹持单元带动晶圆翻转;检测单元,用于检测夹持组件向晶圆所施加的实际夹持信息,实际夹持信息包括实际夹持信息、实际夹持位置中至少一项;控制单元,用于根据实际夹持信息与预设的目标夹持信息,控制移动单元使两个夹持组件相向或相背运动。本公开的晶圆翻转装置及方法、晶圆加工设备可减少晶圆碎裂现象。

今年以来西安奕材新获得专利授权58个。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增10.17%。

通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目14次;财产线索方面有商标信息5条,专利信息1624条;此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,不构成投资建议。

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