截至2026年6月26日收盘，恒运昌（688785）报收于449.98元，较上周的405.0元上涨11.11%。本周，恒运昌6月25日盘中最高价报462.98元。6月22日盘中最低价报387.3元。恒运昌当前最新总市值304.64亿元，在半导体板块市值排名82/174，在两市A股市值排名697/5206。
2025年公司实现营业收入约5.29亿元，主要受半导体行业周期波动影响，下游设备客户采购量随晶圆厂订单、产品验证进度及交付节奏动态调整。归属于上市公司股东的净利润约为1.14亿元，主要因研发投入大幅增加，推进新产品开发与升级迭代。2026年一季度实现营业收入1.24亿元，归母净利润1,758.28万元，利润变动主因包括运营管理提升、研发持续投入、人才引进、政府补助同比减少及计提资产减值损失。
根据弗若斯特沙利文数据，2024年全球等离子体射频电源系统市场规模达53.4亿美元，2025–2029年复合增长率预计为10.6%；中国大陆市场规模2024年为65.6亿元，2025–2029年复合增长率预计达15.6%。SEMI报告显示，2025年全球半导体设备销售额达1,350.6亿美元，中国在成熟制程及部分先进节点持续投入。
截至2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单约1.57亿元。公司将依托研发与技术优势，响应拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、北京屹唐等头部设备商需求，加快先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用，并推动产品向光伏、显示面板、精密光学等领域拓展。
等离子体射频电源系统广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，以及光伏电池片薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业场景，亦覆盖科研、航天、医疗等领域。
截至2025年底，第四代Cedar系列等离子体射频电源系统处于验证状态，集成射频电源与匹配器于一体，支持多中心阻抗应用与快速数据采集，适配更先进制程。MFC MEMS传感器研发已完成初样流片及搭载测试平台建设。公司实施双轮驱动策略，通过内生研发优化产品，同时探索外部并购以增强等离子体工艺核心零部件供应能力，打造整体解决方案平台。
远程等离子体源（RPS）包含独立放电腔室，实现等离子体生成与反应腔隔离，通过射频电源将气体电离后传输至反应腔。射频离子源由射频电源、匹配器及感应线圈组成，用于激发等离子体，主要应用于显示面板、精密光学领域的后氧化与离子辅助沉积工艺。
公司引进真空泵、质量流量计及等离子体直流电源等核心零部件，协同自研产品提供完整等离子体工艺解决方案。真空泵用于建立和维持反应腔真空环境；质量流量计实现工艺气体的精确计量与输送；等离子体直流电源用于真空镀膜装备中靶材溅射沉积。
公司技术服务业务主要为晶圆厂提供等离子体射频电源系统的原位替换与维修服务。在主要国内晶圆厂被列入实体清单后，公司承接原无法从海外供应商获取的备件替换与维修需求。
公司核心技术架构基于“基石技术+产品化支撑技术”，涵盖“等离子体电源全数字测量技术”、“全数字环路控制技术”与“高效功放技术”三大基石技术，衍生出八大产品化支撑技术。关键性能指标包括调谐时间、调谐频率重复性、功率精度、开启/关闭响应时间、功率重复性、脉冲上升/下降时间等。
截至2025年底，公司研发团队共158人，占总人数39.01%，团队具备二十年以上行业经验，覆盖技术研发、运营管理与市场拓展，是公司创新与竞争力的核心保障。
2025年公司产能利用率达98.51%，已连续三年处于超负荷运行状态。公司将通过推进恒运昌真空技术（沈阳）有限公司量产、加快深圳产能建设、推动智能化生产运营基地项目落地等多项措施释放新增产能。
公司已通过深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）和深圳市恒运昌投资发展中心（有限合伙）实施员工持股计划，部分核心员工参与了公司战略配售。未来如有新的激励安排，将依规履行信息披露义务。
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