证券之星消息，3月26日，国泰中证半导体材料设备主题ETF基金（159516）跌2.23%，成交额6.92亿元。当日份额减少了300万份，最新份额为120.09亿份，近20个交易日份额增加5.39亿份。当日资金净流出4.41亿元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为194.66亿元。国泰中证半导体材料设备主题ETF基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立（2023-07-19）以来超额回报为5.18%，近一个月超额回报为0.08%，管理人为国泰基金公司，基金经理为艾小军。
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