晶盛机电获得实用新型专利授权：“一种晶圆边缘夹持式甩干机构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆边缘夹持式甩干机构”，专利申请号为CN202520445842.1，授权日为2026年2月17日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆边缘夹持式甩干机构，属于半导体制造技术领域。晶圆边缘夹持式甩干机构包括基座、甩干组件、升降组件、凸轮转盘和驱动件，甩干组件包括甩干盘、至少三个沿甩干盘周向布置的支撑柱，支撑柱通过弹性件连接于甩干盘，支撑柱能够在甩干盘的周侧和中心之间移动，弹性件使支撑柱具有向中心方向移动的趋势；升降组件设于基座，凸轮转盘设于升降组件的输出端，升降组件能够驱动凸轮转盘与支撑柱配合；凸轮转盘包括与支撑柱一一对应的推程段；驱动件设于基座，驱动件用于驱动甩干盘旋转，凸轮转盘位于第一位置时，支撑柱在推程段运动以相对于甩干盘移动，凸轮转盘位于第二位置时，甩干组件进行甩干，提高晶圆干燥效率。

今年以来晶盛机电新获得专利授权16个，较去年同期减少了11.11%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了4.65亿元，同比减23.93%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了36家企业，参与招投标项目217次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1155条，著作权信息146条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。