西安奕材获得发明专利授权：“硅片抛光装置和硅片抛光方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项发明专利授权，专利名为“硅片抛光装置和硅片抛光方法”，专利申请号为CN202311719600.9，授权日为2026年2月6日。

专利摘要：本发明提供了一种硅片抛光装置和硅片抛光方法，涉及半导体技术领域，硅片抛光装置包括：硅片抛光垫，硅片抛光垫上沿外周设置硅片载具；硅片载具上沿外周开设有硅片容纳孔；第一定位组件，用于向硅片抛光垫的载具定位区域发射第一定位信号，第一定位信号用于检测硅片载具在硅片抛光垫上的位置是否正确；抛光垫清洗组件，抛光垫清洗组件用于由硅片抛光垫的圆心向边缘或者由硅片抛光垫的边缘圆心喷射清洁液；第二定位组件，用于向硅片抛光垫的圆心发射第二定位信号，第二定位信号用于检测硅信号的传输路径是否经过硅片载具。本发明能够检测硅片载具在硅片抛光垫上的放置位置是否正确，以及检测出硅片抛光垫上未被所述硅片载具覆盖的半径进行清洗。

今年以来西安奕材新获得专利授权4个。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.28亿元，同比减nan%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目7次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1514条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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