颀中科技获得实用新型专利授权：“晶圆承载装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示颀中科技（688352）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆承载装置”，专利申请号为CN202520338153.0，授权日为2026年2月6日。

专利摘要：本实用新型揭示了一种晶圆承载装置，包括支撑结构、设置于所述支撑结构的吸盘以及设置于所述吸盘的密封圈，所述支撑结构设有抽真空通道，所述吸盘设有连通所述抽真空通道的吸盘气道、用以固定所述密封圈的第一固定槽和第二固定槽，所述第一固定槽、第二固定槽和所述吸盘三者共圆心设置；至少部分所述吸盘气道位于所述第一固定槽的内侧，所述第一固定槽的直径小于所述第二固定槽的直径；适配于承载两种不同尺寸的晶圆，提高晶圆承载装置应用的多样性；且适配较大尺寸的晶圆时，相当于有两圈密封圈吸附固定，改善吸附异常。

今年以来颀中科技新获得专利授权2个，与去年同期持平。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了9231.07万元，同比增35.32%。

通过天眼查大数据分析，合肥颀中科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目46次；财产线索方面有专利信息170条，著作权信息1条；此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源：天眼查APP

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