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乾照光电获得发明专利授权:“一种用于LED晶圆制程的装置”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示乾照光电(300102)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于LED晶圆制程的装置”,专利申请号为CN202210057723.X,授权日为2026年1月27日。

专利摘要:本发明提供了一种用于LED晶圆制程的装置,包括载盘和压环,载盘侧面为倾斜面,载盘侧面与晶圆放置面形成载盘倾斜角,压环用于固定载盘,压环定位角用于定位载盘倾斜角,压片部用于压住载盘边缘。本发明设置压环定位角与载盘倾斜角的形状、角度相匹配,在适当增大载盘尺寸的同时,既避免载盘过大导致压环无法压住载盘的问题,使机台能正常工作,又能避免制程时传入到腔室内,载盘与压环产生摩擦过程中,载盘易偏离压环的固定,可有效保证载盘的寿命和晶圆加工良率,实现稳定规模化量产。

今年以来乾照光电新获得专利授权17个。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了8878.26万元,同比增26.51%。

通过天眼查大数据分析,厦门乾照光电股份有限公司共对外投资了17家企业,参与招投标项目41次;财产线索方面有商标信息23条,专利信息558条,著作权信息2条;此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源:天眼查APP

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