彤程新材获得发明专利授权：“一种深紫外化学放大正型光刻胶组合物和图案形成方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示彤程新材（603650）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种深紫外化学放大正型光刻胶组合物和图案形成方法”，专利申请号为CN202211258412.6，授权日为2025年10月31日。

专利摘要：本发明涉及光刻胶技术领域，尤其是涉及一种深紫外化学放大正型光刻胶组合物和图案形成方法。深紫外化学放大正型光刻胶组合物，包括如下组分：聚合物、含有苯基的化合物、光致产酸剂、含氮化合物、表面活性剂和溶剂；聚合物包括聚合物A，聚合物A具有如式(I)所示的结构：式中，R1选自甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、环戊基和环己基中的任一种；R2选自氢、甲基和乙基中的任一种；结构单元x与结构单元y的摩尔百分比为65～80mol％：20～35mol％。该光刻胶具有光刻工艺窗口大、曝光宽容度大和焦深大的特点，在无抗反射底层保护的高反射基底上光刻可获得无驻波、CD波动小和侧壁角呈直角的光刻胶图案。

今年以来彤程新材新获得专利授权11个，较去年同期减少了38.89%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增25.04%。

通过天眼查大数据分析，彤程新材料集团股份有限公司共对外投资了26家企业，参与招投标项目2次；财产线索方面有商标信息61条，专利信息297条，著作权信息1条；此外企业还拥有行政许可13个。

数据来源：天眼查APP

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