证券之星消息,国林科技(300786)09月18日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。
投资者提问:多重曝光,意味着需要多次沉积、光刻、清洗,对晶圆沉积、光刻胶、(硬)掩膜板以及清洗的需求都会大幅增加。例如:自对准四重曝光的前提是完成四层沉积。请问公司产品能否满足多重曝光(N+2、N+3)工艺对应的多次沉积和清洗的技术需求?
国林科技回复:尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程,子公司国林半导体现有产品可以满足上述工艺制程的应用需求。感谢您的关注。
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