证券之星消息,根据天眼查APP数据显示上海新阳(300236)新获得一项发明专利授权,专利名为“KrF光源厚膜光刻胶组合物的使用方法”,专利申请号为CN202111448787.4,授权日为2025年9月16日。
专利摘要:本发明公开了一种KrF光源厚膜光刻胶组合物的使用方法。具体地,本发明公开了一种以如式Ⅰ所示的化合物作为光产酸剂的KrF光源厚膜光刻胶组合物的使用方法,主要包含涂覆、预烘烤、掩模板图案复制、再烘烤和显影等步骤。经本公开的KrF厚膜光刻胶组合物的使用方法,得到的胶膜矩形性佳。
今年以来上海新阳新获得专利授权27个,较去年同期减少了27.03%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.22亿元,同比增25.4%。
通过天眼查大数据分析,上海新阳半导体材料股份有限公司共对外投资了28家企业,参与招投标项目71次;财产线索方面有商标信息10条,专利信息416条,著作权信息2条;此外企业还拥有行政许可105个。
数据来源:天眼查APP
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