至纯科技获得发明专利授权：“自适应可变间距晶圆扫描系统及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“自适应可变间距晶圆扫描系统及方法”，专利申请号为CN202111663766.4，授权日为2025年9月2日。

专利摘要：本发明涉及一种自适应可变间距晶圆扫描系统及方法，该系统包括底座、设置在底座上的晶圆扫描发射端、对应晶圆扫描发射端的晶圆扫描接收端，一个所述晶圆扫描发射端和一个晶圆扫描接收端为一组晶圆扫描模组；底座上活动设置若干组晶圆扫描模组；晶圆扫描模组之间的距离可调。扫描时，根据通过采集单元采集所要扫描的晶圆的尺寸信息，然后通过尺寸确认对应的晶圆扫描模组之间的距离，通过PLC控制单元控制电机旋转，通过电机驱动调节晶圆扫描模组之间的距离，实现对对应规格的晶圆的扫描。本发明的自适应可变间距晶圆扫描系统及方法可实现传感器之间位置的调整，满足不同规格晶圆扫描的需求，在保证扫描效率的同时提升了晶圆扫描的兼容性。

今年以来至纯科技新获得专利授权27个，较去年同期增加了42.11%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.18亿元，同比增17.59%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息104条，专利信息314条，著作权信息28条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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