至纯科技获得发明专利授权：“一种自摆荡晶圆清洗干燥装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种自摆荡晶圆清洗干燥装置”，专利申请号为CN202111675344.9，授权日为2025年9月2日。

专利摘要：本发明公开了一种自摆荡晶圆清洗干燥装置，包括清洗槽以及设置于所述清洗槽内部的摆动机构，所述摆动机构上设置有至少两个晶圆盒承载区，所述晶圆盒承载区用于放置晶圆盒；所述摆动机构包括驱动电机、滑动轨道、滑动块、轴接轨道及摆动臂，所述滑动轨道与所述轴接轨道平行设置，所述滑动轨道位于所述轴接轨道的上方，所述滑动块滑动安装于所述滑动轨道上，所述驱动电机用于控制所述滑动块在所述滑动轨道上进行往复运动。本发明通过摆动机构形成弧形运动路径，使得晶圆在摆荡的过程中，形成特殊的震动、摆动，有效摆幅运动使得清洗设备的设置更加灵活，提高了一般湿法工艺构建的普适性及可行性。

今年以来至纯科技新获得专利授权27个，较去年同期增加了42.11%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.18亿元，同比增17.59%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息104条，专利信息314条，著作权信息28条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。