华海清科获得发明专利授权：“一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法”，专利申请号为CN202510600889.5，授权日为2025年8月19日。

专利摘要：本发明公开了一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法，属于晶圆制造技术领域。该电化学机械抛光头包括：联轴盘，中心设置有定位孔；承载盘，匹配设置有轴部，所述轴部滑动连接于定位孔中，使得承载盘随联轴盘旋转和/或沿竖直方向移动；导电的弹性膜，设置于承载盘下方，用于装载待处理的晶圆；保持环，设置于承载盘下方并位于弹性膜的外周侧；电连接组件，竖向设置于沿所述轴部配置的安装孔中，其一端与电源连接，另一端与所述弹性膜的中心腔室连接，使得待处理的晶圆处于弹性膜与抛光液之间形成的电场中；所述电连接组件的至少部分为柔性件，其沿竖向伸缩以适应弹性膜的变形，进而在弹性膜与抛光液之间形成稳定的电场。

今年以来华海清科新获得专利授权60个，较去年同期增加了140%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目229次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息707条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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