中科飞测获得发明专利授权：“一种晶圆面型测量设备及测量方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆面型测量设备及测量方法”，专利申请号为CN202510450943.2，授权日为2025年7月15日。

专利摘要：本申请提供的晶圆面型测量设备及测量方法，在所述第一探测器表面覆盖第一保护玻璃，经所述第一保护玻璃反射的部分所述第一干涉光束经所述第一分光镜后成像到所述第三探测器上，监控所述第三探测器的成像信息并调整所述待测件的面型测量过程，有效地利用了第一保护玻璃反射的部分光，通过对该部分光进行成像并根据成像情况对整个面型测量过程进行调整，保证了干涉测量的稳定性和可靠性。

今年以来中科飞测新获得专利授权43个，较去年同期减少了41.89%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了4.98亿元，同比增118.17%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目260次；财产线索方面有商标信息327条，专利信息965条，著作权信息35条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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