晶合集成获得发明专利授权：“防止一体化刻蚀工艺中缺陷及制备金属互联结构的方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“防止一体化刻蚀工艺中缺陷及制备金属互联结构的方法”，专利申请号为CN202510298242.1，授权日为2025年7月11日。

专利摘要：本发明公开了一种防止一体化刻蚀工艺中缺陷及制备金属互联结构的方法，首先在具有第一金属层的目标晶圆上制作多层膜结构，然后利用一体化刻蚀工艺在多层膜结构制作露出第一金属层的槽口；刻蚀完成后，在除电工序中通入CO/N2组合气体作为等离子气体，在槽口表面沉积稳定的隔离保护层，以隔离刻蚀过程中在槽口产生的残留聚合物；除电完成后，将晶圆顶起转移至晶圆盒中；将晶圆盒中晶圆转移至湿法清洗工艺，清洗沉积金属层；采用CMP工艺去掉多余的金属层和多层膜结构，完成金属互联结构的制作；本发明通过改进除电工序防止一体化刻蚀工艺中产生缺陷，取得了意想不到的效果，使得中转时晶圆盒中无需高纯氮气保护，并且极限等待时间大幅度延长。

今年以来晶合集成新获得专利授权211个，较去年同期增加了15.93%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了12.84亿元，同比增21.41%。

通过天眼查大数据分析，合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目627次；财产线索方面有商标信息52条，专利信息1160条，著作权信息7条；此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源：天眼查APP

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