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拓荆科技获得发明专利授权:“晶圆承载组件、晶圆传递装置及晶圆传递之方法”

来源:证券之星企业动态 2025-07-12 02:44:10
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆承载组件、晶圆传递装置及晶圆传递之方法”,专利申请号为CN202010587218.7,授权日为2025年7月11日。

专利摘要:本发明揭露一种用于反应腔中的晶圆承载组件,其包含:一加热板,固接有用于站立在反应腔底部的复数个支撑脚;一顶针托盘,垂直升降于该加热板下方,且固接有垂直升降于该加热板上方的复数个顶针,该顶针托盘配置成和一机械手臂的一手指互动而升降于该加热盘的下方。

今年以来拓荆科技新获得专利授权29个,较去年同期增加了123.08%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了7.56亿元,同比增31.26%。

通过天眼查大数据分析,拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目98次;财产线索方面有商标信息110条,专利信息702条,著作权信息22条;此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源:天眼查APP

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