鸿远电子获得实用新型专利授权：“一种可双面干法刻蚀且真空状态下导热良好的工装夹具”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示鸿远电子（603267）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种可双面干法刻蚀且真空状态下导热良好的工装夹具”，专利申请号为CN202421987681.0，授权日为2025年7月11日。

专利摘要：本实用新型公开了一种可双面干法刻蚀且真空状态下导热良好的工装夹具，涉及光刻夹具技术领域包括冷却平台以及冷却平台上的片位槽，所述片位槽放置有样品，样品上放置有压板，压板通过螺栓固定在冷却平台上；在真空状态下存在并具有良好导热性的两层特殊导热材料；可均匀受力的压片设计，可均匀施加压力，以固定样品，并最大程度使样品与冷却平台接触。

今年以来鸿远电子新获得专利授权20个，较去年同期增加了66.67%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了1.13亿元，同比增5.54%。

通过天眼查大数据分析，北京元六鸿远电子科技股份有限公司共对外投资了15家企业，参与招投标项目542次；财产线索方面有商标信息70条，专利信息235条；此外企业还拥有行政许可16个。

数据来源：天眼查APP

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