拓荆科技获得发明专利授权：“晶圆支撑柱及晶圆处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆支撑柱及晶圆处理设备”，专利申请号为CN202111470945.6，授权日为2025年6月27日。

专利摘要：本发明提供了一种晶圆支撑柱，设置于半导体基座内用于承托晶圆，其包括支撑柱本体，所述支撑柱本体的外表面设有至少一个凹陷部，所述凹陷部相对于所述支撑柱本体的外表面向内凹陷，所述凹陷部设置于所述支撑柱本体的侧壁，且所述凹陷部的顶部与支撑柱本体的顶端部相接，所述凹陷部的底部与支撑柱本体的底端部相接，减小了支撑柱本体的顶端部的面积，使得在工艺过程中晶圆支撑柱与晶圆之间的静电力或其他吸附力减至最小，大大降低晶圆支撑柱从孔内脱出的风险，且使得晶圆支撑柱和基座孔之间具有空隙，从而减少基座孔内因气体热膨胀而导致晶圆支撑柱从孔内脱出的风险，以及减少晶圆支撑柱在基座孔内卡死的风险。本发明还提供了一种晶圆处理设备。

今年以来拓荆科技新获得专利授权25个，较去年同期增加了127.27%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目97次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息708条，著作权信息22条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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