证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种监测镀膜机台内晶圆状态的装置”,专利申请号为CN202422195868.3,授权日为2025年6月27日。
专利摘要:本实用新型提供了一种监测镀膜机台内晶圆状态的装置,包括摄像机、透明板、扭矩传感器、控制器和报警器;反应腔的侧壁上设置有窗口,透明板固定在窗口上;摄像机的镜头朝向透明板;扭矩传感器的转轴与电机的转轴连接;摄像机、扭矩传感器和报警器分别与控制器连接,摄像机用于从晶圆的侧面获取晶圆状态对应的视频信号并把视频信号发送给控制器,扭矩传感器用于获取电机的扭矩并把电机的扭矩发送给控制器,控制器用于根据视频信号和电机的扭矩判断是否启动报警器。控制器可以根据视频信号和电机扭矩判断晶圆在顶针上或在吸盘上的位置是否发生偏移,如果偏移,控制器向报警器发送启动信号使报警器开启,提醒作业人员及时查看晶圆的状态。
今年以来晶合集成新获得专利授权178个,较去年同期增加了6.59%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了12.84亿元,同比增21.41%。
通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目626次;财产线索方面有商标信息52条,专利信息1157条,著作权信息7条;此外企业还拥有行政许可17个。
数据来源:天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。