至纯科技获得发明专利授权：“一种优化摆动型马兰格尼干燥流场的干燥槽体结构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种优化摆动型马兰格尼干燥流场的干燥槽体结构”，专利申请号为CN202310198523.0，授权日为2025年6月17日。

专利摘要：本发明涉及到一种优化摆动型马兰格尼干燥流场的干燥槽体结构，该干燥槽体结构包括主体槽，为进行液体排放的带有缓坡的漏斗型主体结构；下沉式槽道，位于主体槽的底部中心，在其斜坡最低端设有排放孔；溢流槽，分别设置于主体槽的两侧，用以排出溢流的超纯水和异丙醇；负压腔，设置于溢流槽内，形成负压排风腔体；注入水管路，设置于下沉式槽道内，其上设有注入管排放孔。本发明的干燥槽体结构能够做到批量晶圆正反面的均匀超纯水浸润，并且形成垂直向的顺流牵引，避免产生紊乱绕流，利用负压排风腔体体来保证槽内IPA雾散布均匀，外部空气不会进入腔体内污染晶圆。

今年以来至纯科技新获得专利授权13个，较去年同期减少了7.14%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增19.17%。

数据来源：天眼查APP

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