证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构的制作方法”,专利申请号为CN202510307642.4,授权日为2025年6月3日。
专利摘要:本发明公开了一种半导体结构的制作方法,属于半导体技术领域。所述制作方法包括:提供一衬底,所述衬底上设置有半导体器件的栅极结构,所述栅极结构突出设置在所述衬底上;在所述栅极结构的两侧形成侧墙结构;在所述衬底、所述栅极结构和所述侧墙结构上形成接触孔刻蚀停止层;对所述接触孔刻蚀停止层进行清洗;对所述接触孔刻蚀停止层进行预处理;在所述接触孔刻蚀停止层上形成介质层。通过本发明提供的一种半导体结构的制作方法,能够减少在层间介质层内产生空洞和缝隙等缺陷,提高半导体结构的良率。
今年以来晶合集成新获得专利授权156个,较去年同期增加了9.09%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了12.84亿元,同比增21.41%。
数据来源:天眼查APP
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