芯碁微装获得发明专利授权：“温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备”，专利申请号为CN202211335236.1，授权日为2025年6月3日。

专利摘要：本发明公开了一种温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备，所述温度调节系统包括：空调装置，空调装置安装于机体上，空调装置包括壳体以及设置于壳体内的压缩机，壳体上具有出风口和回风口，空调装置用于驱动空气从出风口经曝光模块后移动至回风口，以调节曝光模块的工作环境温度；第一温度采集装置，用于采集回风口的回风温度；加热装置，加热装置安装于空调装置内；控制装置，控制装置与空调装置、第一温度采集装置、加热装置连接，获取回风温度和压缩机的当前转速值，并根据回风温度和当前转速值控制加热装置的工作状态。采用该温度调节系统可以使直写式曝光设备内部的温度保持稳定，从而解决了温度波动对直写式曝光设备性能影响的问题。

今年以来芯碁微装新获得专利授权18个，较去年同期增加了28.57%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了9769.71万元，同比增3.34%。

数据来源：天眼查APP

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