中微公司获得发明专利授权：“一种边缘环组件、下电极组件、等离子体处理装置和制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种边缘环组件、下电极组件、等离子体处理装置和制备方法”，专利申请号为CN202510165658.6，授权日为2025年5月30日。

专利摘要：本发明公开了一种边缘环组件、下电极组件、等离子体处理装置和制备方法，该边缘环组件包含：环本体；第一电极，其设置于所述环本体内部；第二电极，其设置于所述环本体内部，所述第二电极位于所述第一电极下方并与其电连接，所述第二电极还与外部的第一功率源连接，所述第一电极与所述第二电极之间具有至少两个电连接点。其优点是：该边缘环组件通过沿周向分布的第二电极提高第一电极上射频功率分布的均匀性，以使第一电极形成更均匀的电场环境，有助于提高聚焦环耦合的功率电压的均匀性，进而提升聚焦环上方鞘层厚度的均匀性，保证晶圆处理的均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权68个，较去年同期增加了1.49%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

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