证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于提高CCP反应腔体内清洁效率的方法”，专利申请号为CN202111055390.9，授权日为2025年5月9日。
专利摘要：本发明公开了一种用于提高CCP反应腔体内清洁效率的方法，包括：提供一反应腔体，所述反应腔体内设有基座；提供一辅助组件，所述辅助组件的上表面积大于所述基座的上表面积；将所述辅助组件放置于所述基座上，使所述辅助组件的下表面和基座的上表面接触；通入清洁气体使其形成等离子体，清除沉积于所述反应腔体内的聚合物。本发明提供方法，无需打开腔体擦拭沉积于地极表面的高聚物，能够增强清洁工艺中等离子体对地极的轰击，提升对地极的清洁效率。
今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了13.79%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。
数据来源：天眼查APP
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