华海清科获得发明专利授权：“厚度补偿的电涡流检测方法、装置设备和存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“厚度补偿的电涡流检测方法、装置设备和存储介质”，专利申请号为CN202411628959.X，授权日为2025年4月15日。

专利摘要：本申请提供了一种厚度补偿的电涡流检测方法、装置设备和存储介质，该应用于化学机械抛光设备，该方法包括：在晶圆运行至电涡流传感器的检测区域时，获取电涡流传感器的第一感应信号，其中，电涡流传感器设置于化学机械抛光设备包括的抛光盘内，抛光盘的顶面设置有用于对晶圆上金属层进行抛光的抛光垫；在化学机械抛光设备包括的修整头扫过检测区域时，获取电涡流传感器的第二感应信号；根据第二感应信号确定抛光垫上与电涡流传感器相对区域的第一厚度值；根据第一感应信号、第一厚度值，确定晶圆上的金属层的厚度。本申请提供的厚度补偿的电涡流检测方法可以提高晶圆上金属层厚度的检测精度。

今年以来华海清科新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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