证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆滑片风险的评估方法及化学机械抛光装置”，专利申请号为CN202211570496.7，授权日为2025年4月15日。
专利摘要：本发明提供了一种晶圆滑片风险的评估方法及化学机械抛光装置，包括：S100、采集气膜和保持环的摩擦力矩，分别记为torqueA和torqueB；对保持环的平均摩擦力fRR赋值，使总合摩擦力矩等于torqueB，根据fRR计算保持环所受的侧向力FRR和摩擦系数μs；对气膜的平均摩擦力fw赋值，使总合摩擦力矩等于torqueA，根据fw计算晶圆所受的侧向摩擦力FW和摩擦系数μk；定义边界条件a和b，令a＝μs?μk，b＝FRR?FW，若a
今年以来华海清科新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。
数据来源：天眼查APP
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