万润股份获得发明专利授权：“一种用于电子束光刻胶的聚合物及其制备方法和应用”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示万润股份（002643）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于电子束光刻胶的聚合物及其制备方法和应用”，专利申请号为CN202411649152.4，授权日为2025年4月8日。

专利摘要：本发明涉及光刻胶技术领域，具体涉及一种用于电子束光刻胶的聚合物及其制备方法和应用，所述聚合物具有如下结构式：；x、y、z分别为所述聚合物重复单元的质量分数，x选自60?74%，y选自25?35%，z选自1?10%，所述聚合物重均分子量为2000?20000Da，分子量分散系数为1.0?3.0。所述制备方法为：将单体A、单体B、单体C、自由基引发剂混合后溶解在电子级反应溶剂中制备混合溶液，再将所述混合溶液滴加至电子级反应溶剂中，控制反应温度和反应时间，反应完毕，将反应体系滴加至不良溶剂中造粒得到所述的聚合物。用该聚合物配制的光刻胶组合物具有高分辨率、高灵敏度。

今年以来万润股份新获得专利授权10个，较去年同期减少了28.57%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了2.12亿元，同比增33.31%。

数据来源：天眼查APP

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