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士兰微获得发明专利授权:“MEMS麦克风及其制造方法”

来源:证券之星企业动态 2025-03-29 03:33:24
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示士兰微(600460)新获得一项发明专利授权,专利名为“MEMS麦克风及其制造方法”,专利申请号为CN201911426163.5,授权日为2025年3月28日。

专利摘要:公开了一种MEMS麦克风及其制造方法。所述MEMS麦克风包括:衬底;位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板结构,所述膜片与所述背极板结构之间彼此间隔,所述膜片的第一表面与所述背极板结构的第一表面彼此相对;以及贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔,其中,所述膜片的第一表面设置有与所述背极板结构连接的第一连接部。本申请将膜片通过表面的第一连接部悬挂于背极板结构,极大的释放了膜片的应力,提高了膜片机械响应的灵敏度。

今年以来士兰微新获得专利授权25个,较去年同期增加了8.7%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了4.87亿元,同比增34.18%。

数据来源:天眼查APP

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