易天股份获得发明专利授权：“一种基于视觉定位的晶圆对位方法及控制系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示易天股份（300812）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基于视觉定位的晶圆对位方法及控制系统”，专利申请号为CN202411839453.3，授权日为2025年3月25日。

专利摘要：本发明提供一种基于视觉定位的晶圆对位方法及控制系统，通过搬运模组将晶圆从卡塞中取出，并搬运至校正平台；通过第一对位件对晶圆进行初对位；通过第二对位件对晶圆进行二次对位；向多个伺服电机发送控制命令；控制伺服电机同时驱动多个对位模组，以将晶圆位移至基准位置；通过搬运模组将晶圆运输至贴附平台；驱动贴附头对晶圆贴附UV膜；通过切刀对晶圆进行仿型切膜；控制搬运模组将晶圆运输至卡塞内。本发明通过第一对位件和第二对位件对晶圆进行初对位和二次对位，能够实现高精度对位，且能够便于后续贴膜和切膜的进行，且能够同时驱动多个伺服电机将晶圆位移至基准位置，能够大幅度地提高晶圆的生产效率。

今年以来易天股份新获得专利授权12个，较去年同期增加了100%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了2746.46万元，同比减17.85%。

数据来源：天眼查APP

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