证券之星消息,根据天眼查APP数据显示易天股份(300812)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆UV贴膜机”,专利申请号为CN202411627279.6,授权日为2025年3月11日。
专利摘要:本发明涉及一种晶圆UV贴膜机,包括料盒组件、晶圆搬运组件、对位组件、晶圆承载组件、切膜组件、夹膜丢膜组件、贴膜组件和撕膜辅助组件;对位组件用于对晶圆进行精准矫正,晶圆承载组件用于将晶圆运送至各模组下方,切膜组件多方位对UV膜卷料切割直至与晶圆形状大小一致,贴膜组件自动施加下压力对晶圆进行贴膜,撕膜辅助组件对已贴膜晶圆的表面贴附撕膜贴。本发明提出全自动化对晶圆进行贴膜,有效提高了晶圆贴膜效率;本发明提出多个对位相机精准矫正晶圆位置,有利于提高贴膜准确率;本发明提出采用多个切膜刀对UV卷料进行多方位切割,有利于减少材料损耗,降低成本;本发明提出贴膜时施加下压力,有利于避免产生气泡,提高贴合效果。
今年以来易天股份新获得专利授权8个,较去年同期增加了33.33%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2746.46万元,同比减17.85%。
数据来源:天眼查APP
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